一、 内部热源的解决：
为了解决测量机内部热源对三坐标测量机的影响，常常动用红外线的热探测仪，来发现测量机的内部热源，研究发电机及其他传动装置是测量机的主要热源。
因此，三坐标测量机重要改进之一就是把固定的柔性齿型带改为回转的齿型带，目的是把电机从主腿上移到底座之外，因而改善了导轨受热状况，减小了导轨变形。

二、如何解决测量机外部的热源： 
减少外部热源的影响是首要考虑的因素，应避免日光直接照射，不要用白炽灯而用冷光灯，不要过多的人聚集，因为人群形成的温度场对精度的影响也很大。
对热源的隔离，具有较好的恒温间是，但亦是较贵的解决方案，另外一种方法就是测量机自带的恒温隔离间或在外罩内有恒温气流流动。
关于温度场的变化，这里特别要指出，影响最坏的不一定是高频变化的温度场，而是一日2个周期的温度变化，这相当于白天开空调，晚上关空调的情况。

三、结构上减小热变形的方法：
结构弯曲及扭转的变形对精度的影响要大于伸长缩短的影响因为线性的伸长缩短较容易用软件补偿。因此尽量减少温度梯度的影响，采用导热系数高的材料，不要形成大的温度梯度，而截面形状尽量对称以减少弯曲的影响，加筋的三角形梁有很大的抗扭矩，能够较好地减少在温度变化条件下的变形。

四、有限元分析预测受力变形及温度变形：
进行有限元分析，因而在设计时就避免了可能的变形。

五、软件温度补偿：
为了适合于车间温度环境，克服温度变化所引起的变形，在大多数测量机上装有温度传感器，进行线性实时温度补偿，较好的测量机上已应用了实时结构温度补偿技术。